ICP等离子体矩管，原理与应用
ICP等离子体矩管是一种利用高频电场激发气体产生等离子体的装置，其原理基于等离子体物理学的理论，通过高频电磁场激发气体分子形成电离状态，产生等离子体，ICP等离
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标签：应用领域与原理
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